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英國進口愛德華干式真空泵維修保養(yǎng)iH80 

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英國進口愛德華干式真空泵維修保養(yǎng)iH80

應用

• 負載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 刻蝕
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

功能和優(yōu)勢

• 優(yōu)化了設施消耗。
• 無需預防性維護。
• 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
• 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
• 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
• 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
• 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國進口愛德華干式真空泵維修保養(yǎng)iH80

技術數(shù)據(jù)

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

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徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華寧波英國進口愛德華干式真空泵iH160、半導體晶圓維修保養(yǎng)iH80

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